Capteurs et Instrumentations
Introduction
L’axe Capteurs et Instrumentation fédère l’ensemble des activités de l’IES portant sur l’étude et la réalisation de capteurs.
Il regroupe également les activités d’élaboration des matériaux, le design des capteurs et leur mise en œuvre en environnements réels.
De nombreuses applications sont concernées. Ainsi, les capteurs réalisés peuvent mesurer des données biologiques, environnementales, ou encore médicales, dans des environnements potentiellement très contraints. Des travaux sont aussi menés sur des photodétecteurs ou de l’imagerie IR.
Les systèmes qui permettent la mise en œuvre des capteurs développés au laboratoire, ainsi que les systèmes de communication (WIFI, DFID, Internet Of Things…) sont également considérés.
SOUS-THEMES DE RECHERCHE :
L’étude des phénomènes physiques : optique, thermique, mécanique, acoustique… Ces notions fondamentales se retrouvent dans de nombreuses thématiques de recherche. Elles concernent par exemple la structure de la matière, ses propriétés quantiques, électriques, les aspects ondulatoires, les nanosciences ou les sciences du vivant.
La mise en œuvre technologique et les techniques de caractérisations, du matériau (micro, nano) à l’instrumentation La matière est mise en œuvre et structurée en salles blanches (process technologiques, croissances…) au laboratoire
Le prototypage, l’intégration de composants, de la grandeur à la mesure
Les systèmes Ils sont ici très variés : acoustiques, photoniques, imageries, M(N)EMS …
QUESTIONNEMENTS SCIENTIFIQUES :
La mesure de grandeurs physiques ultimes multi-échelles (électriques, optiques, acoustiques, thermiques…)
L’élaboration et la fabrication de nouveaux matériaux pour les capteurs
La réalisation de capteurs fiables à base de composants et de systèmes innovants, faibles bruits et autonomes
La réalisation des capteurs et de leur chaine d’instrumentation en vue d’une intégration réaliste
Le développement des plateformes d’instrumentation et de mesure associées
Equipement spécifique
Equipe PhoTéra :
- Analyseurs GBF-THz
- Streak camera: réponse spectrale 300-1500nm, résolution temporelle ~100ps, résolution spatiale 60µm
- Camera shearing interferometry (amplitude – phase): réponse spectrale 350-1100nm, résolution 30µm
- Chambre anéchoïque
Equipe MOST :
- Plateforme microscopie champ proche THz
Equipe NanoMIR :
- Vibromètre laser doppler
- FTIRs
Equipe RFEF :
- Chambre climatisable
Compétences
Croissance et caractérisation de matériaux
Développement de procédés technologiques
Moyens : Techno quantiques, Epitaxie des semiconducteurs, dépôts piezo, gravures, dépots diélectriques, métalliques, bounding, lithographie élec, sérigraphie, microfluidique, chimie douce
Caractérisation des capteurs
Moyens : Tests sous pointes, impédancemètre, vibrométrie doppler, mesures THz, mesures de bruit électroniques, Spectrométrie à TF, effets de doses sous irradiations
Intégration de composants ultimes à leurs systèmes de conditionnement
Mise en œuvre des capteurs dans un environnement réaliste
Moyens : Mesures électriques, routage, fabrication, instrumentations,
Chambre atmosphérique, atmosphères contrôlées, chambre anéchoïque
Projets de recherche
EXPAIR
Partenaires :
Financé par :
UNISON
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