2019-2023
SENSiSOFT
New sensor devices based on soft chemistry assisted nanostructured functional oxides on Si integrate
Axe(s) de recherche :
Financé par :
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2023-2026
EPITAQSi
Épitaxie de quartz-α sur silicium assistée par la chimie douce : une plateforme pour des capteurs intégrés
Financé par :
2016-2021
MULTIPAS-2
Plateforme de mesure MULTI-gaz et multi-sources par Spectroscopie Photo Acoustique