M²N
Matériaux, Micro et Nanodispositifs
Thème de recherche :
Nanomatériaux à base d’oxydes fonctionnels intégrés
Cette thématique axée sur la Chimie, les Nanomatériaux et les Nanotechnologies (CNN) a comme objectif principal l’intégration de différents matériaux actifs tels que les oxydes fonctionnels sur silicium et autres substrats technologiques pour la réalisation de capteurs et de dispositifs pour, par exemple, la récupération d’énergie.
Ces matériaux actifs sont synthétisés par voie chimique exploitant des effets piézoélectriques, ferroélectriques, magnétiques et thermoélectriques. Cette stratégie de croissance se traduit par une nanostructuration des couches minces qui améliore la réponse flexoélectrique, magnétique et piézoélectrique de ces oxydes fonctionnels.
Ce thème comporte trois sous parties :
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Intégration de nanofils d’oxydes fonctionnels sur silicium par voie chimique pour la récupération d’énergie vibratoire
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Intégration de nanomatériaux à base d’oxydes fonctionnels sur silicium par voie chimique pour la récupération d’énergie thermique
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Nanomatériaux à base de quartz intégrés sur silicium pour des applications capteurs.
